A PR Cleaning automatizált gyártósor alapvető berendezése LCD-kijelző gyártók számára
A PR (photoresist) tisztító automatizált gyártósor az LCD-kijelző gyártás alapvető nedves eljárási berendezése. Elsősorban a tömb szubsztrátumán végzett fotolitográfiai eljárás után használják a maradék fotoreziszt, maratási maradék és felületi mikro{1}}szennyeződések alapos eltávolítására. Kulcsfontosságú berendezés a panel áramköri pontosságának biztosításához és a termékhozam növeléséhez. Tökéletesen illeszkedik a 100-as osztályú tisztaterek szigorú termelési környezetéhez, nagy-pontosságú, automatizált és környezetszennyezés--mentes zárt{7}}körű tisztítási műveleteket valósít meg.
A fotolitográfiás eljárás után a pozitív és negatív fotoreziszt-maradványokat célozva több-lépcsős ultrahangos tisztítást + tiszta vízzel túlfolyó öblítést alkalmaz, hogy mélyen eltávolítsa a törmeléket, szerves szennyeződéseket, porrészecskéket és egyéb szennyeződéseket, amelyek a fotolitográfiás maratást követően maradtak vissza. Alaposan eltávolítja a 0,5 μm alatti mikroszkopikus maradványokat, megelőzve az olyan hibákat, mint a panelek szakadt áramkörei, fényes foltok és szennyeződések okozta Mura foltok. A 0,1 μm-es nagy-precíziós szűrőrendszerrel kombinálva megakadályozza a másodlagos szennyeződést. Alapos, sérülésmentes-eltávolítást ér el, elkerülve a visszamaradó ragasztórétegek hatását a későbbi maratási és bevonási folyamatokra, 100%-os eltávolítási fedettség mellett.
A beépített -ESD elektrosztatikus vezérlőmodul szigorúan szabályozza az elektrosztatikus értéket a ±100 V vagy azzal egyenlő tartományon belül. Az üreges antisztatikus anyaggal és az érintésmentes mágneses görgős technológiával kombinálva elkerüli az elektrosztatikus kisülést, amely károsítja a panel precíziós áramkörét, ugyanakkor meggátolja a karcolásokat, repedéseket és az üvegfelület súrlódásából adódó porképződést, így maximalizálja a hordozó épségének védelmét.
Magas és alacsony hőmérsékletű állandó hőmérsékletű tesztkamra
Az LCD-képernyős gyártók automatizált tisztító és szárító gyártósor berendezéseinek magja kettős szárítási módot foglal magában: légkés vágást és állandó-hőmérsékletű forró levegős szárítást. Ez gyorsan eltávolítja a vízfoltokat az aljzat felületéről, és vízjel--- és nyom{3}}mentes száradást ér el. Száradás után az aljzat felületi nedvességtartalma megközelíti a nullát, lehetővé téve a közvetlen átvitelt a következő folyamathoz másodlagos feldolgozás nélkül, biztosítva a folyamat folytonosságát. A PLC vezérlőrendszer lehetővé teszi a betöltés, pozicionálás, tisztítás és kirakodás teljesen automatizált, zárt{6}}hurkú működését. Támogatja a valós idejű megfigyelési és riasztási funkciókat a tisztítóoldat-koncentráció, a hőmérséklet, a páratartalom és a tisztaság beállításához. A zárt kamra és a gradiens negatív nyomású kialakítás megakadályozza a vegyi gázok szivárgását. A 100. osztályú tisztatér pozitív nyomású környezetével kombinálva lehetővé teszi az ultratiszta víz újrahasznosítását és a hulladékfolyadékok osztályozását és visszanyerését, teljesítve az energiatakarékos{12} és a környezetvédelmi követelményeket.
A hagyományos kézi tisztításhoz képest a teljesen automatizált PR tisztító gyártósorok pótolhatatlan előnyökkel rendelkeznek: a tisztítási hatékonyság több mint 3-szorosára nő, és műszakonként közel 10 000 üvegfelületet lehet feldolgozni, jelentősen lerövidítve a folyamatciklust; a tisztító konzisztenciája kiváló, alaposan eltávolítja a 0,5 μm-nél kisebb mikro-maradványokat, 0,5 PPM-en belül szabályozza a panel hibaarányát, hatékonyan elkerülve a hibákat, például a fényes foltokat, a sötét foltokat és az áramköri szakadásokat a képernyőn; a berendezés víztakarékos- és energiatakarékos-konstrukciót alkalmaz, magas tiszta víz-visszanyerési arány mellett, valamint a szennyvíz besorolású gyűjtése és kezelése, megfelelve a környezetvédelmi gyártási követelményeknek; az egész gép korrózióálló PVC-ből és SUS304 rozsdamentes acélból készült, erős tömítéssel, könnyen tisztítható és karbantartható, és alkalmas 24-órás folyamatos üzemre tiszta helyiségekben, így az LCD-képernyő-gyártók alapfelszereltségévé válik a csúcskategóriás termékvonalak kiépítéséhez és az alapvető versenyképesség fokozásához.
Alapberendezések az LCD-kijelzőgyártók fotolitográfiás műhelyében
Az expozíciós berendezés a fotolitográfiai műhely központi berendezése, és az LCD-tömb gyártási folyamatának kulcsfontosságú folyamatterülete. Panel litográfiai gépként is ismert, ez egy nagy pontosságú{1}}optikai nedves eljárás. Fő funkciója, hogy a hordozó áramköri mintázatát optikai expozíció révén egy fotoreziszttel bevont üveghordozóra vigye át, ami kulcsfontosságú a mikro-áramkörök kialakításához a panelen. Az áramköri mintázat pontos átvitele a fotomaszkról az üveghordozóra a későbbi maratási, bevonatolási és PR tisztítási folyamatok előfeltétele, amely közvetlenül meghatározza a kijelző minőségét. A berendezés érintésmentes expozíciós eljárást alkalmaz, amely alkalmas nagy-méretű, vékony LCD-üvegfelületekre, elkerülve az alapfelület megkarcolódását, sérülését és szennyeződését.
Az alapvető technológiai csúcspontok közé tartozik a nagy-precíziós igazítási rendszer mikron-szintű, vagy akár szub-mikron-szintű átfedési pontossággal, amely nulla eltolódást biztosít a több-rétegű áramkörök egymásra helyezésekor, a hibákat néhány ezredhajszál átmérőjével szabályozzák; egységes expozíciós fényforrás és dinamikus fókuszálási technológia alkalmazása az expozíciós energiaingadozások eléréséhez<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Az egész műhely 589 nm-es monokromatikus sárga fényforrást használ, amely teljesen kiszűri a rövid-hullámhosszú fényeket, például az ultraibolya, kék és fehér fényt, megakadályozva, hogy ezek a sugarak idő előtt fotokémiai reakciókat indítsanak el a fotorezisztben, ami olyan végzetes hibákat okoz, mint a minta eltolódása, hiányos vonalak, rövidzárlatok és szakadt áramkörök. A világítási rendszer dedikált sárga LED-ek és kétrétegű szűrők-kombinációját használja a szórt fényszivárgás megakadályozására; az ajtók, ablakok és megfigyelőablakok anti-ultraibolya szűrőanyaggal vannak felszerelve; mobiltelefonok, fényképezőgépek, nagy-teljesítményű zseblámpák és egyéb külső fényforrások használata szigorúan tilos a műhelyben, és teljes körű-fényszabályozást alkalmaznak, hogy elkerüljék a fényforrásból származó idő előtti expozíció kockázatát.
Bevezetés a 100. osztályú tisztaterekhez az LCD-kijelzők gyártói számára
A nagy-precíziós LCD-gyártás területén a 100. osztályú tisztaterek (ISO 5. osztályú tisztaterek) jelentik az alapvető gyártási létesítményt, és a gyártó műszaki erejének és termékhozamának kulcsfontosságú mutatói. Széles körben használják az alapvető folyamatszakaszokban, mint például a tömbök, a cellák összeszerelése és a modulok csomagolása olyan vezető megjelenítő cégeknél, mint a BOE, a TCL CSOT, a HKC és a Tianma. Ezekre a tisztaterekre szigorú tisztasági előírások vonatkoznak, legfeljebb 100 lebegő porrészecskével, amelyek átmérője nagyobb vagy egyenlő, mint 0,5 μm légköbméterenként (köbméterenként legfeljebb 3520). Ez a tisztasági szint messze meghaladja az orvosi műtőkét, és „kemény gátként” szolgál, hogy megakadályozza, hogy a por, a statikus elektromosság és a vegyi szennyeződések megzavarják a precíziós folyamatokat. Ez egy alapvető hardverkomponens, amely közvetlenül meghatározza a képernyő képminőségét, élettartamát és teljesítményét.
A műhelyt szigorúan az ISO nemzetközi és hazai szabványok szerint tervezték és építették. Függőleges egyirányú légáramlási módot alkalmaz, amely négy-fokozatú ULPA szűrőrendszerrel (előszűrő, közepes-hatékonyságú szűrő, nagy-hatékonyságú szűrő és ultra-nagy-hatékonyságú szűrő) párosul, így a szűrés hatékonysága akár 9%-os, 9%-os 99%-os azonnali por eltávolítást biztosít. holt zónák. Ezzel egyidejűleg precíz környezeti szabályozás érhető el minden dimenzióban: állandó 23±1 fokos hőmérséklet, 45%-55%-on szabályozott relatív páratartalom, tiszta területen fenntartott pozitív nyomás és 10 Pa-nál nagyobb nyomáskülönbség a szomszédos területek között, teljesen megakadályozva a külső por beszivárgását; figyelembe véve a kijelzőpanelek elektrosztatikus károsodásra való hajlamát, antisztatikus epoxi-önterülő padlót használnak, a falakhoz és mennyezetekhez pedig 304 rozsdamentes acél és tisztatéri színes acéllemezeket használnak, a statikus elektromosság értékének szigorú ellenőrzése mellett a folyamat során; A molekuláris -szintű VOC kémiai szennyező anyagok és a látens interferenciák, például a mikrorezgések további vezérlése megfelel a nanoméretű eljárások, például a fotolitográfia, a vékonyréteg-leválasztás és a folyadékkristály-injektálás követelményeinek.
A műhely többszintű tisztatér-zónázást alkalmaz, amely 100. osztályú magterületre, 1000. osztályú pufferterületre és 10 000. osztályú segédterületre van felosztva, a keresztszennyeződést megakadályozó rétegekkel, valamint a személyzet és az automatizált anyagszállító vonalak teljesen el vannak választva. A személyzetnek háromszoros átöltözési, légzuhany- és elektrosztatikus érzékelési folyamaton kell átesnie, és csak akkor léphet be, ha teljes-testtisztatéri ruha, por-kesztyű és védőszemüveg viselhető; az anyagok továbbítása reteszelt átadó ablakokon keresztül történik, és por- és statikus elektromosság-eltávolító kezelésen esnek át; a belső tér FFU lamináris áramlási elszívókkal, online részecskeszámlálókkal, hőmérséklet- és páratartalom-érzékelőkkel, nyomáskülönbség-figyelőkkel és egyéb berendezésekkel van felszerelve a 24-órás valós idejű megfigyelés és az adatok nyomon követhetősége érdekében, valamint azonnali figyelmeztetéseket ad ki, és korrekciókat hajt végre, ha rendellenes mutatók jelennek meg a folyamatos környezeti stabilitás biztosítása érdekében.
